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具有压电元件６０和７０组成的压电单元８０，在压电元件６０的整个下表面６２上设置激振电极２２，在压电元件６０和７０间的整个表面上设置激振电极２１。激振电极２１和２２与驱动信号源９０相连。在压电元件７０的上表面７１上设置检测电极３１～３４，检测...
该专利属于三井化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三井化学株式会社授权不得商用。

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