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本发明的静电电容式变形传感器包括基板（１１９）和该基板上形成的二个交叉指型－对电极式电容器（２０９，２０９Ａ）。该基板（１１９）在具有平面（或曲面）的弹性体的表面上，形成由厚度大致一致、介电常数随变形而变化的材料形成的电介质层膜（１２９）。...
该专利属于NEC东金株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过NEC东金株式会社授权不得商用。

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