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一种基于电极堆栈的界面型多态阻变存储器及其制备方法技术
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下载一种基于电极堆栈的界面型多态阻变存储器及其制备方法的技术资料
文档序号:26261672
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本发明属于多态存储领域,公开了一种基于电极堆栈的界面型多态阻变存储器及其制备方法,所述多态阻变存储器包括衬底和衬底上自下而上依次沉积的底部电极、氧离子存储层、活性电极堆栈层和顶部电极;活性电极堆栈层包括自下而上依次设置的若干电极层,若干电极...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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