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具有多分支栅极接触结构的半导体器件制造技术
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文档序号:26261628
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根据半导体器件的实施例,该半导体器件包括:第一有源单元区,其包括第一多个平行栅极沟槽;第二有源单元区,其包括第二多个平行栅极沟槽;以及在第一和第二有源单元区上方的金属化层。金属化层包括:第一部分,其与第一和第二有源单元区中的多个平行栅极沟槽...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
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