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本揭示提供一种单晶圆湿处理设备，包含：旋转台，用于放置晶圆；液体供应装置，用于对所述晶圆施加多种工艺液体；液体回收装置，包含多个回收环，其中每一所述回收环用于收集对应的其中一种工艺液体及其夹带的气液混合物；以及多个气体回收装置，分别与所述液...
该专利属于弘塑科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过弘塑科技股份有限公司授权不得商用。

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