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一种用于精密仪器和精密测量领域的平面光波导的微重力加速度传感器及测量方法，传感器中的探测质量块通过悬臂梁同外框架固定，外层金属膜沉积在光学玻璃板上，光学玻璃板通过螺丝固定在外框架侧面，内层金属膜沉积在探测质量块上，外层金属膜背向内层金属膜，...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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