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本发明涉及一种梳齿电容式Ｚ轴加速度计及其制备方法，所述梳齿电容式Ｚ轴加速度计包括玻璃衬底，可动电极，固定电极，支撑梁和锚点，所述两固定电极的一端分别连接在所述玻璃衬底上，所述可动电极不等高梳齿插设在两侧的所述固定电极之间，形成两组敏感电容，...
该专利属于北京大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京大学授权不得商用。

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