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原子力显微镜探针及其制作方法技术
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文档序号:26258200
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本申请涉及一种原子力显微镜探针及其制作方法。包括获取原子力显微镜探针的Q值随针尖长度的变化曲线。变化曲线中包含了QTF不同的振动模式。根据变化曲线,确定针尖长度的取值范围,实现了根据附加质量和振动模式对AFM中QTF探针在不同针尖长度下的Q...
该专利属于中山大学所有,仅供学习研究参考,未经过中山大学授权不得商用。
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