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一种多孔硅拼装式微腔生物传感器制造技术
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文档序号:26257922
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本发明公开了一种多孔硅拼装式微腔生物传感器是由上下布拉格与微腔构成的一种常用的多孔硅生物传感器,在生物检测过程中,即使尺寸非常小的生物分子也只能进入到多孔硅表层1μm的深度,很难达到微腔层,导致实际多孔硅微腔的生物检测灵敏度低于理论值设计值...
该专利属于新疆大学所有,仅供学习研究参考,未经过新疆大学授权不得商用。
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