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本发明提供一种MEMS热电堆红外探测器，将红外吸收层设置为纳米纤维森林复合结构，纳米纤维森林复合结构包括若干垂直于支撑层的纳米纤维及包覆于纳米纤维上方的红外吸收单元。红外吸收单元包覆于纳米纤维上方使红外吸收单元不易从支撑层脱落，提高了纳米纤...
该专利属于无锡物联网创新中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡物联网创新中心有限公司授权不得商用。

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