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本发明提出的是一种拟合测量薄膜厚度的方法，该方法包括采用了椭圆偏振测量技术和神经网络相结合的方法，通过薄膜的椭圆偏振光参数以及神经网络模型来拟合测量薄膜的厚度；所述神经网络为LSTM循环神经网络。所述拟合测量薄膜厚度的方法适用于对Al...
该专利属于上海辰慧源科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海辰慧源科技发展有限公司授权不得商用。

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