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本发明公开的一种基于激光干涉原理的凸轮测量装置及测量方法，包括测微测头、XZ轴运动装置、激光器；测微测头安装在XZ轴运动装置上，沿X轴或Z轴移动；测微测头的测球与凸轮表面相接触；激光器发出激光干涉测长双光路，包括激光光束通过分光镜被分为X光...
该专利属于中国计量科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量科学研究院授权不得商用。

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