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本发明是一种微机械硅谐振梁加速度计，是基于微电子机械技术（ＭＥＭＳ）加工而成，由Ｐｙｒｅｘ７７４０＃玻璃基片、硅质量块、双谐振梁、四根支撑梁、锚点及电极引线组成，硅结构上下左右完全对称。质量块在加速度作用下受到的惯性力通过力－应力转换结构传...
该专利属于中国科学院电子学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电子学研究所授权不得商用。

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