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高性能加速度计的悬挂机构制造技术
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文档序号:2625416
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一种悬挂隔膜(16)被构造成可将精密传感器(14)支撑在容器(12)内。该悬挂隔膜(16)由下方的柔性压片(152)和沿该容器(12)开口周边布置的环形混合支架(16B)支撑。使用柔性压片(152)和固定通道(120)中的硬环氧树脂将该传感...
该专利属于霍尼韦尔国际公司所有,仅供学习研究参考,未经过霍尼韦尔国际公司授权不得商用。
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