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本发明涉及一种双线振动硅微陀螺仪。该陀螺仪由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，陀螺仪上层机械结构的内框架通过检测支承梁与外框架相连，陀螺仪下层玻璃衬底上制作有地线、驱动输入引线、敏感输...
该专利属于南京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学授权不得商用。

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