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本发明公开了一种超薄柔性硅基电容式微机械超声波换能器，包括具有至少一个敏感单元的至少一个CMUT阵元，所述至少一个CMUT阵元设置于柔性衬底电路，所述敏感单元由第一SOI片和第二SOI片键合而成，所述第一SOI片的器件层作为振动薄膜，所述第...该专利属于中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心所有，仅供学习研究参考，未经过中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心授权不得商用。