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本发明公开了一种表面涂覆方法及设备，所述表面涂覆设备包括纳米颗粒气溶胶制备装置、真空样品腔、样品多轴联动平台；所述纳米颗粒气溶胶制备装置包括纳米颗粒气溶胶制备腔以及与所述纳米颗粒气溶胶制备腔连接的涂覆部件；所述真空样品腔，设有涂覆部件连接孔...
该专利属于深圳第三代半导体研究院所有，仅供学习研究参考，未经过深圳第三代半导体研究院授权不得商用。

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