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微机械二维风速风向传感器及其信号处理电路制造技术
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文档序号:2624904
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二维风速风向传感器及其信号处理电路涉及一种基于微机械(MEMS)剥离工艺的二维热膜风速风向传感器,以及恒温差控制和热温差测量电路。该传感器中央的芯片温度测量电阻Rs,和参考电阻Rr连接成惠斯通电桥形式,然后进行差分放大,最后利用电压/电流转...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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