下载辅助单晶生长的摇摆装置及大尺度单晶生长摇摆炉系统的技术资料

文档序号:26239610

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本实用新型提供了辅助单晶生长的摇摆装置及大尺度单晶生长摇摆炉系统,涉及单晶生长装置技术领域。辅助单晶生长的摇摆装置,包括支撑架、横梁、电机和用于放置加热炉的摇摆笼;横梁的两端活动架设于支撑架之上,摇摆笼位于横梁的下方且与横梁固定连接,横梁的...
该专利属于澳门大学所有,仅供学习研究参考,未经过澳门大学授权不得商用。

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