下载一种氟化物坩埚模具储存装置的技术资料

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实用新型公开了一种氟化物坩埚模具储存装置,包括封闭的箱体,箱体内设有旋转工作台,旋转工作台由控制系统进行控制,箱体上设有自动感应门,自动感应门关闭后箱体呈封闭状态。该存储装置为容器提供一个无尘的封闭空间进行储存,能够避免环境中各种不利因素的...
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