下载用于压力测量和温度测量的传感元件的技术资料

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一种用于压力测量和温度测量的传感元件(2a,2b),包括:具有膜(110)和围绕所述膜(110)设置的边缘区(120)的基体(100)。传感元件(2a,2b)还包括能导电的层(10),其具有设置在基体(100)的膜(110)之上的第一区域(...
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