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玻璃基板内缺陷的深度方向位置检测方法技术
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文档序号:2622788
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本发明的目的是在使摄影机的焦点面从玻璃基板的表面向内部移动的同时,基于被拍摄的缺陷的图像正确计算出缺陷的深度方向位置,以获得微细的缺陷的鲜明的图像,由此可以正确且立即判断玻璃基板的好坏。使摄影机的焦点面与玻璃基板表面缺陷存在的位置一致,边使...
该专利属于三星康宁精密琉璃株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星康宁精密琉璃株式会社授权不得商用。
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