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本发明公开了一种提高氮化镓器件良品率的方法，具体包括如下步骤：步骤1，在衬底表面划分格点，在每一个格点位置上进行拉曼光谱测量，从而获得整个衬底的应力分布情况：步骤2，对孔晕光学边沿进行判断，并根据孔晕光学边沿找到所有孔晕；步骤3，通过抽样选...
该专利属于西安理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安理工大学授权不得商用。

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