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微结构双向弯拉疲劳试验装置制造方法及图纸
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文档序号:2622342
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本发明公开了一种微结构双向弯拉疲劳试验装置,包括有驱动电极、检测电极和与之相连接的悬置梳齿单元;在圆心相同但直径不同的数个非闭合圆盘状环臂分布有6个梳齿单元;该梳齿单元分为用来驱动整个悬置结构的驱动组和用来测量悬置结构摆动的幅度的检测组;驱...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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