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一种剪切波模式的声表面波谐振式检测器制造技术
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文档序号:26221366
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本发明公开了一种剪切波模式的声表面波谐振式检测器,包括基片(1)和设置在其上的三换能器双端对谐振器结构;所述基片(1)的材料为能够激发剪切波模式声表面波的压电材料;所述三换能器双端对谐振器结构包括第二叉指换能器(3)、在所述第二叉指换能器(...
该专利属于中国科学院声学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院声学研究所授权不得商用。
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