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一种透射电镜高分辨原位流体扰流加热芯片制造技术
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文档序号:26221310
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本发明涉及一种透射电镜高分辨原位流体扰流加热芯片,其结构为上片和下片通过金属键合层组合,自封闭形成一个超薄的腔室;上片有两个注样口和一个上中心视窗;下片设置有流体入口、流体出口、流体流道、下中心视窗、微扰流柱阵列、加热层和绝缘层;加热层有四...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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