下载一种集成型多组分红外气体探测器的技术资料

文档序号:26221231

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本发明公开了一种集成型多组分红外气体探测器,包括自上而下设置的光学芯片与红外探测器芯片,光学芯片下表面包括至少三个聚焦光学单元,每个聚焦光学单元为一个超表面透镜;红外探测器芯片包括至少三个红外探测单元,其中一个作为参考单元,且红外探测单元与...
该专利属于华中科技大学鄂州工业技术研究院;华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学鄂州工业技术研究院;华中科技大学授权不得商用。

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