下载微米尺度下的界面微观相互作用力测量系统及其测量方法的技术资料

文档序号:26220963

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本发明公开了一种微米尺度下的实现界面微观相互作用力机理研究的测量系统及其测量方法,该系统包括传感模块、光学感测模块、解调光路模块、信号调理模块、上位机模块和纳米级精度微位移驱动模块,该系统能实现对微米尺度内界面微观相互作用力的测量,从而获得...
该专利属于合肥工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过合肥工业大学授权不得商用。

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