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本发明公开了一种静电梳状驱动ＭＥＭＳ双轴拉伸疲劳特性实验装置，属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置共有两个电极（１，２），其中电极（２）接交流电，通过多晶硅结构层连接到固定梳齿（１２、１３）。另一个电极（１）接地，通过结构层的两个相互...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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