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本发明公开了单晶炉主腔室上部导热系统及其控制方法。单晶炉上部导热系统，包括一升降水冷环，升降水冷环包括进水管、出水管以及环状体，进水管以及出水管左右相对设置在环状体的上方，环状体内设有用于冷却水途径的导流通道，导流通道的一端与进水管对接导通...
该专利属于上海汉虹精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海汉虹精密机械有限公司授权不得商用。

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