下载表面等离子共振测量装置和方法的技术资料

文档序号:2621743

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本发明的测量方法或装置是利用表面等离子共振原理实现,可测量两个物体间的微小间隙、位移或相对位置。本发明的测量方法首先提供一含横磁(TM)波光束,并利用所述光束产生所述二个物体中一者的表面等离子共振现象。之后测量所述光束的反射光或穿透光信号大...
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