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本发明涉及超精密加工技术领域，具体涉及一种可实现单轴、双轴及三轴力检测功能的机械柔性机构，其包括基体、单轴力检测柔性机构、双轴力检测柔性机构、三轴力检测柔性机构以及多个位移检测装置，单轴力检测柔性机构、双轴力检测柔性机构、三轴力检测柔性机构...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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