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本实用新型公开了一种检测中大口径平晶的旋转装置,包括支撑座和旋转组件,所述支撑座底部固定有多个气浮脚,所述支撑座两边均设有侧板,且支撑座底部内壁靠近其中一个侧板位置处设有十字滑台,所述十字滑台的滑动件与旋转组件的底部一边连接,所述旋转组件包...该专利属于上海见远自动化科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海见远自动化科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种检测中大口径平晶的旋转装置,包括支撑座和旋转组件,所述支撑座底部固定有多个气浮脚,所述支撑座两边均设有侧板,且支撑座底部内壁靠近其中一个侧板位置处设有十字滑台,所述十字滑台的滑动件与旋转组件的底部一边连接,所述旋转组件包...