下载改良的微型致动器的技术资料

文档序号:26194246

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本实用新型公开了一种改良的微型致动器,其包括:致动器主体,致动器主体内间隔设置有复数条导流槽,导流槽的两端分别从致动器主体的第一端面、第二端面露出而形成入口端和出口端,在导流槽的侧壁上还设置有驱动电极,驱动电极与金属端板薄无直接接触;盖板,...
该专利属于苏州英捷飞微机电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州英捷飞微机电有限公司授权不得商用。

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