下载激光超声波式特性测定装置的技术资料

文档序号:2619191

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本发明的一个形态的激光超声波式特性测定装置包括:向被测定对象物(M)照射激发激光、而在该被测定对象物(M)激发超声波的发送部(12);向被测定对象物(M)照射探测激光、而接受来自被测定对象物(M)的探测激光的反射光来检测超声波的接收部(14...
该专利属于东芝三菱电机产业系统株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东芝三菱电机产业系统株式会社授权不得商用。

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