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一种静电吸附膜清洗装置制造方法及图纸
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文档序号:26189688
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本实用新型提供了一种静电吸附膜清洗装置,包括:箱体,所述箱体内具有清洗腔,清洗过程中,静电吸附膜置于所述清洗腔中;所述清洗腔的上部连接有进水阀门,所述清洗腔下部连接有出水阀门,所述清洗腔中具有超声换能器。本实用新型利用超声换能器对放入清洗腔...
该专利属于北京远心科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京远心科技有限责任公司授权不得商用。
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