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一种微结构谐振单向弯拉多轴疲劳试验装置，包括：驱动电极和检测电极；其特征在于：所述的驱动电极由通过锚定层固定在硅基底上的外侧壁与驱动梳齿对连接；所述的检测电极由通过锚定层固定在硅基底上的外侧壁与检测梳齿对连接；上述驱动梳齿和检测梳齿夹合的悬...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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