下载用于在涂布机中支撑基板的具有竖直网格的载体的技术资料

文档序号:26180546

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本文的各种实施例涉及用于在一个或多个基板通过处理设备时支撑所述基板的载体。在许多情况下,所述基板以竖直方式定向。所述载体可包括框架和将玻璃固定到所述框架的竖直支撑杆。所述载体可不具有水平支撑杆。所述载体可允许所述基板的热膨胀和收缩,而不需要...
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