下载一种硅基量子点光子晶体激光器及加工方法的技术资料

文档序号:26176787

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本发明提供了一种硅基量子点光子晶体激光器及加工方法,该激光器结构包括依次层叠的:硅衬底层、缺陷抑制层、牺牲层、发光层和盖层。缺陷抑制层处在硅衬底层上,包括交替层叠的第一量子点层和三五族缓冲层,与硅衬底层接触的为第一量子点层,与牺牲层接触的为...
该专利属于香港中文大学(深圳)所有,仅供学习研究参考,未经过香港中文大学(深圳)授权不得商用。

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