下载一种增强型器件及其制备方法的技术资料

文档序号:26176205

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本发明公开了一种增强型器件及其制备方法,该增强型器件采用垂直或者半垂直结构,制备非极性面或半极性面的氮化物异质结,使二维电子气在此处中断,获得了增强型器件。...
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