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一种增强型器件及其制备方法技术
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下载一种增强型器件及其制备方法的技术资料
文档序号:26176205
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本发明公开了一种增强型器件及其制备方法,该增强型器件采用垂直或者半垂直结构,制备非极性面或半极性面的氮化物异质结,使二维电子气在此处中断,获得了增强型器件。...
该专利属于苏州晶湛半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州晶湛半导体有限公司授权不得商用。
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