下载一种赝磁性隧道结单元的技术资料

文档序号:26176116

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本发明赝磁性隧道结单元,在已制造好的适于磁性随机存储器的互补金属氧化物半导体上沉积一层底电极,采用化学机械研磨的方法使底电极平坦化;用旋涂的方法在底电极上依次沉积粘合层和光刻胶层;对外围电路单元区域曝光;对外围电路单元区域显影,除去此区域的...
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