下载基于源场板的单片异质集成Cascode结构场效应晶体管及制作方法的技术资料

文档序号:26176058

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本发明公开了一种基于源场板的单片异质集成Cascode结构场效应晶体管,主要解决现有Cascode结构场效应晶体管击穿特性较差的问题。其包括:衬底(1)、GaN缓冲层(2)、AlGaN势垒层(3)和SiN隔离层(4),SiN隔离层中间刻有隔...
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