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一种垂直集成单元二极管芯片制造技术
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文档序号:26176053
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本发明提供一种垂直集成单元发光二极管,包括:第一导电类型电极,第二导电类型电极,及位于所述第一导电类型电极之上的二极管台面结构,二极管台面结构包括n个二极管单元和沟槽结构,其中,n≥2;沟槽结构位于二极管单元之间。二极管台面结构还包括第一导...
该专利属于深圳第三代半导体研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳第三代半导体研究院授权不得商用。
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