下载基于Si衬底的N极性面富Al组分氮化物材料生长方法的技术资料

文档序号:26175850

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本发明公开了一种基于Si衬底的N极性面富Al组分氮化物材料生长方法,其中,具体包括以下步骤:S1:在Si衬底的表面设置Si...
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