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本实用新型涉及一种薄膜表面微观不平度测试仪，包括分叉光纤，光源，光谱分析仪，信号处理器，移动台。将薄膜固定在移动台上，光源发出的光进入分叉光纤的输入端，从分叉光纤的探测端射出至待测薄膜表面，探测端接收薄膜前后表面的反射光束，并将此反射光束经...
该专利属于孙艳所有，仅供学习研究参考，未经过孙艳授权不得商用。

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