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一种传感器长时间高温蠕变加速仿真方法，实现了长时间高温环境下传感器热场、弹性场、蠕变场三场之间的有效耦合。首先校准介质薄膜的高温蠕变关键参数，随后建立传感器芯片级有限元模型并进行相应的前处理及瞬态热分析，完成对传感器芯片级有限元模型的时变温...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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