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本发明提供了一种镜片调整装置、可调式光学系统、光刻设备及定心单元，可动镜组模块的镜片固定单元通过定心单元设置在框架单元上；若干位置调整模块沿所述框架单元周向设置，每个所述位置调整模块包括驱动单元及柔性连杆单元，所述柔性连杆单元的一端与所述镜...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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