下载一种空间滤波器端透镜五维调节方法及其装置的技术资料

文档序号:26169023

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本发明公开了一种高功率激光系统中的空间滤波器端透镜调节方法与装置,包括鬼像定位法、位姿调节法和五维控制机构,使得空间滤波器端透镜自动化调节。鬼像定位法确定最强光斑的位置测量到端透镜的一阶鬼点焦距,根据位置关系确定端透镜在光轴Z向上的位置,再...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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