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本发明公开了快速测量金属表面电场噪声的装置，包括真空腔、CCD摄像机、第一真空角阀、离子泵、真空挡板阀门、三通真空连接器、第二真空角阀、三维驱动器、三维纳米移动台和待测样品架，还包括设置在真空腔内的芯片支撑架，芯片支撑架上设置有钙原子炉和滤...
该专利属于中国科学院精密测量科学与技术创新研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院精密测量科学与技术创新研究院授权不得商用。

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