下载高温高压冷热台的技术资料

文档序号:26168136

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本发明的一种高温高压冷热台,由台体(1)、台盖(2)、盖窗(3)、o型环(4)、陶瓷样品架(5)、陶瓷加热坩埚(13)以及热电偶(11)组成;所述陶瓷加热坩埚(13)位于台体内部;所述热电偶(11)用于测试温度;所述陶瓷样品架(5)放置于陶...
该专利属于重庆渝微电子技术研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过重庆渝微电子技术研究院有限公司授权不得商用。

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